반도체 제조공정은 크게 전공정과 후공정으로 나뉩니다.
그중에서 전공정은 웨이퍼에 반도체 회로를 설계하는 단계로 전공정은 노광(Photo) - 식각(Etching) - 증착(Deposition)의 과정을 거칩니다.
노광공정은 웨이퍼에 감광액을 도포해 노광장비로 빛을 가해 회로 패턴을 새기는 것 과정(회로).
식각공정은 플라즈마 상태에서 특수한 가스를 주입해 불필요한 회로 부분을 선택적으로 제거하고 세정하는 과정(세정).
증착공정은 물리적·화학적 방법을 통해서 웨이퍼에 전기적 특성을 갖는 분자 또는 원자단위의 물질을 입히는 과정(박막)입니다.
전공정은 미세한 반도체 회로를 만드는 공정이기에 첨단 장비와 화학제품이 필요합니다.
오늘은 반도체 전공정과 관련된 반도체 장비 회사에 대해서 알아보겠습니다.
반도체 전공정 장비 관련주
주성엔지니어링
기업 설명
◼ 1993년 4월 13일에 설립 됐으며, 반도체, 디스플레이, 태양전지 제조 장비를 주사업으로 영위 중.
어떤 사업을 하나요?
◼ 반도체, 디스플레이, 태양전지 관련 장비 제조 및 판매
재무제표
관련주로 포함된 이유는?
◼ 반도체 전공정 박막증착에 사용되는 커패시터향 High-K ALD 장비 생산 기업.
◼ 주성엔지니어링은 커패시터향 High-K ALD 장비를 SK하이닉스에 독점으로 납품 중
유진테크
기업 설명
◼ 2000년에 설립된 반도체 장비 제조회사로, 전공정의 웨이퍼 처리공정 중 박막형성재료를 화학반응에 의해 반도체기판(wafer)위에 박막을 형성하는 장비를 제공.
어떤 사업을 하나요?
◼ 전공정의 웨이퍼 처리공정 중 박막형성재료를 화학반응에 의해 반도체기판(wafer)위에 박막을 형성하는 장비를 제공
재무제표
관련주로 포함된 이유는?
◼ 반도체 전공정 박막증착에 사용되는 Single type LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 장비 생산.
◼ 유진테크는 삼성전자, SK하이닉스, 마이크론에 Epitaxial Growth용 LPCVD 장비를 납품하고 있는 것으로 추정.
이오테크닉스
기업 설명
◼ 1989년 4월 1일 설립되었으며, 레이저를 이용하여 반도체, PCB, Display, 휴대폰 산업의 주요 생산 장비를 제조
어떤 사업을 하나요?
◼ 반도체 생산 장비로서 Laser Marker, Laser Cutter가 주요 사업.
◼ 반도체 사업에서 축적한 Laser 제어기술 등 Know-How를 응용한 다양한 장비들을 개발해 정보통신, PCB 등 산업에 공급되고 있으며 레이저를 이용한 LCD, OLED 등 디스플레이에 관련된 다양한 장비들을 판매.
재무제표
관련주로 포함된 이유는?
◼ 삼성전자와 레이저 어닐링 장비를 공동 개발
◼ 삼성전자 D램 1znm 이하 비중 확대에 따른 수혜가 예상
HPSP
기업 설명
◼ 2017년 03월 14일에 설립된 고압 수소 어닐링 장비에 대한 연구개발 및 제조, 판매를 전문으로하는 기업
어떤 사업을 하나요?
◼ 고유전율(High-K) 절연막을 사용하는 트랜지스터의 계면특성을 개선하는 고압 수소 어닐링 장비 연구 개발 및 제조 판매 영위
재무제표
관련주로 포함된 이유는?
◼ 고압 수소 어닐링 장비 독점 회사, 고압 수소 어닐링 장비는 웨이퍼와 High-K 절연막 사이 경계면의 누설전류를 막는 역할을 수행.
◼ 고압수소 어닐링 장비는 파운드리 7nm 이하 공정에서 수율 개선을 위한 필수 장비
아이엠티
기업 설명
◼ 2000년 11월 23일에 설립된 레이저 및 CO2 건식 세정기술 전문기업.
어떤 사업을 하나요?
◼ 건식세정 장비 사업, EUV Mask용 레이저 응용 장비 사업 및 부품 사업을 영위
재무제표
관련주로 포함된 이유는?
◼ 반도체 전공정 및 후공정 장비 전문 기업
◼ 전공정에 사용되는 EUV Mask용 레이저 Baking 장비는 Hot Plate나 Oven 대신 레이저 Beam Shaping/Forming 기술을 이용하여 마스크의 필요한 부위만 정밀하게 구워 회로 패턴의 해상도를 높이는 장비
넥스틴
기업 설명
◼ 2010년 6월 23일 설립된 반도체 패턴 결함 검사 장비 전문 기업
어떤 사업을 하나요?
◼ 반도체 전공정 광학 검사 장비 제조,
재무제표
관련주로 포함된 이유는?
◼ 국내 유일 전공정 광학검사장비 회사
◼ Bright-field 검사와 Dark-field 검사를 위한 광학 구성을 한 장비 내에서 구현하여 Bright-field 검사와 Dark-field 검사를 선택할 수 있는 복합 구성 장비(Combo-system)개발
파크시스템스
기업 설명
◼ 1997년 4월 7일 설립된 나노계측장비인 원자현미경(Atomic Force Microscope)을 개발 및 생산 기업
어떤 사업을 하나요?
◼ 나노계측장비인 원자현미경(Atomic Force Microscope)을 개발, 생산 기업
◼ 주요 수익 모델은 원자현미경으로 연구용 약 29%, 산업용 약 66%, 기타 소모품 및 서비스가 약 5% 비율 (23년 3분기 기준)
재무제표
관련주로 포함된 이유는?
◼ 반도체 고객사는 선단공정으로 갈수록 수율 확보가 중요해지면서, 수율 개선에 기여하는 비접촉식 원자현미경 도입을 확대
◼ 완전한 비접촉식 원자현미경을 판매하는 유일한 회사
◼ EUV 마스크 리페어 장비 (NX-Mask) 생산
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